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Bruker橢偏儀FilmTek 2000 PAR-SE
——用于幾乎所有先進(jìn)薄膜或產(chǎn)品晶片測(cè)量的先進(jìn)多模計(jì)量
FilmTek™ 2000標(biāo)準(zhǔn)桿數(shù)-SE光譜橢圓偏振儀/多角度反射儀系統(tǒng)結(jié)合了FilmTek技術(shù)，為從研發(fā)到生產(chǎn)的幾乎所有先進(jìn)薄膜測(cè)量應(yīng)用提供了業(yè)界的精度、精度和多功能性。其標(biāo)準(zhǔn)的小點(diǎn)測(cè)量尺寸和模式識(shí)別能力使該系統(tǒng)成為表征圖案化薄膜和產(chǎn)品晶片的理想選擇。
更新日期：2024-04-19訪(fǎng)問(wèn)量：2402廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
現(xiàn)在聯(lián)系
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Bruker FilmTek CD橢偏儀
——多模態(tài)臨界尺寸測(cè)量和先進(jìn)薄膜計(jì)量學(xué)
FilmTekTM CD光學(xué)臨界尺寸系統(tǒng)是我們解決方案，可用于1x nm設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)及更高級(jí)別的全自動(dòng)化、高通量CD測(cè)量和高級(jí)薄膜分析。該系統(tǒng)同時(shí)提供已知和*未知結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)多層堆疊特性和CD測(cè)量。
FilmTek CD利用多模測(cè)量技術(shù)來(lái)滿(mǎn)足與開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)中最復(fù)雜的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)特征相關(guān)的挑戰(zhàn)性需求。
更新日期：2024-04-18訪(fǎng)問(wèn)量：2145廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
現(xiàn)在聯(lián)系
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Bruker 橢偏儀 FilmTek 2000M TSV
FilmTek™ 2000M TSV計(jì)量系統(tǒng)為先進(jìn)的半導(dǎo)體封裝應(yīng)用提供了速度和精度組合。該系統(tǒng)為各種封裝工藝和相關(guān)結(jié)構(gòu)的高通量測(cè)量提供了測(cè)量性能和精度，包括表征抗蝕劑厚度、硅通孔（TSV）、銅柱、凸塊和再分布層（RDL）。
更新日期：2024-04-18訪(fǎng)問(wèn)量：2046廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
現(xiàn)在聯(lián)系
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Bruker橢偏儀 FilmTek 6000 PAR-SE
FilmTek™ 6000標(biāo)準(zhǔn)桿數(shù)-SE先進(jìn)的多模薄膜計(jì)量系統(tǒng)在1x nm設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)和更高的位置為廣泛的薄膜層提供生產(chǎn)驗(yàn)證的薄膜厚度、折射率和應(yīng)力測(cè)量監(jiān)測(cè)。該系統(tǒng)能夠在新一代集成電路的生產(chǎn)過(guò)程中實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的過(guò)程控制，提高器件產(chǎn)量，并支持下一代節(jié)點(diǎn)技術(shù)的開(kāi)發(fā)。
更新日期：2024-04-18訪(fǎng)問(wèn)量：2094廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
現(xiàn)在聯(lián)系
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