bruker臺階儀是一種用于化學、材料科學、電子與通信技術、化學工程領域的分析儀器??梢苑治鰳悠繁砻娲蟪叽缛S形貌,探測樣品厚度。臺階儀集成氣體隔振裝置和方便的交互鎖裝置使儀器在全封閉工作環(huán)境下運行,是當今要求苛刻的生產(chǎn)環(huán)境的理想之選。它的雙攝像頭設置使空間感增強,其高水平自動化可生產(chǎn)量。
bruker臺階儀可以應用于微電子器件,半導體,電池,高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學領域,它的功能強大,操作更簡易,檢測過程和數(shù)據(jù)采集更完善。利用*的直接驅動掃描平臺,能提高數(shù)據(jù)采集和分析速度,減少了掃描間的時間,不會影響分辨率和背景噪聲。在保證行業(yè)的質(zhì)量和重現(xiàn)性前提下,它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描是的數(shù)據(jù)分析。還具有行業(yè)內(nèi)有效的直觀用戶界面,簡化了實驗操作設置,自動完成多掃描模式,讓重復和常規(guī)的實驗操作變得更快速簡潔。
bruker臺階儀可以作為如下用途使用:
1.晶片應用:沉積薄膜(金屬、有機物)的臺階高度,抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度,蝕刻速率測定,化學機械拋光(腐蝕,凹陷,彎曲)。
2.大型基板應用:印刷電路板(凸起、臺階高度),窗口涂層,晶片掩模,晶片卡盤涂料,拋光板。
3.玻璃基板及顯示器應用:液晶屏研發(fā)的臺階步級高度測量,觸控面板薄膜厚度測量,太陽能涂層薄膜測量。