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爾迪介紹|臺階樣板及光柵樣板介紹

更新時間:2023-05-12瀏覽:2037次

一、臺階樣板

該類樣板主要用來校準(zhǔn)臺階儀、光學(xué)輪廓儀、原子力顯微鏡等各種臺階高度測量儀器。

臺階高度范圍:10nm~100μm;

臺階區(qū)域表面粗糙度Sa:優(yōu)于5.0nm;

臺階區(qū)域均勻性:優(yōu)于15nm;

臺階樣片尺寸:10mm×10mm。

序號

臺階標(biāo)稱高度

1

10nm

2

20nm

3

30nm

4

50nm

5

100nm

6

200nm

7

500nm

8

1000nm

9

2μm

10

5μm

11

10μm

12

20μm

13

50μm

14

100μm

 

二、光柵樣板

該類樣板主要用來校準(zhǔn)掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等各種線條尺寸測量儀器。

樣片類型:一維光柵、二維柵格

區(qū)域均勻性:優(yōu)于15nm

尺寸范圍:100nm10μm(一維光柵)、2μm10μm(二維柵格)

線條直線度:優(yōu)于10nm;

 

類型

具體結(jié)構(gòu)

復(fù)合型光柵樣板

包含一維結(jié)構(gòu):100nm、200nm、500nm、1μm2μm、5μm10μm;

二維結(jié)構(gòu):2μm、5μm、10μm

微米級光柵樣板

包含一維、二維光柵結(jié)構(gòu)

結(jié)構(gòu)尺寸:2μm、5μm、10μm

 


 

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